현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
164 라디컬의 재결합 방지 [1] 777
163 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 776
162 Collisional mean free path 문의... [1] 775
161 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 757
160 Self bias 내용 질문입니다. [1] 745
159 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 745
158 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 742
157 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 734
156 교수님 질문이 있습니다. [1] 732
155 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 728
154 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 725
153 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
152 ICP 후 변색 질문 722
151 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 718
150 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 718
149 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 708
148 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 705
» CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
146 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 701
145 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 698

Boards


XE Login