Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:529

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] 75407
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67532
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89320
108 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 595
107 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 590
106 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 586
105 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 585
104 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 564
103 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 542
102 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 539
101 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 538
100 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 532
99 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 530
» 활성이온 측정 방법 [1] 529
97 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 528
96 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 522
95 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 521
94 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 515
93 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 507
92 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 504
91 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 501
90 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 500
89 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 500
쓰기
태그

Boards

XE Login