Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75022 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18864 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56341 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66858 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88327 |
| 79 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 528 |
| 78 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 525 |
| 77 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 509 |
| 76 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2]  | 507 |
| 75 | 활성이온 측정 방법 [1] | 506 |
| 74 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 500 |
| 73 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 495 |
| 72 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 486 |
| 71 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] | 485 |
| 70 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 484 |
| 69 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 483 |
| 68 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1] | 476 |
| 67 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 471 |
| 66 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 470 |
| 65 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 466 |
| 64 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 462 |
| 63 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] | 454 |
| 62 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 447 |
| 61 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 434 |
| 60 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 432 |