번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5592
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16868
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51345
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64201
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84176
31 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 303
30 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 302
29 Plasma Arching [1] 295
28 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 295
27 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 294
26 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 289
25 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 283
24 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 250
23 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 236
22 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 236
21 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 219
20 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 202
19 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 192
18 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 191
17 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 186
16 plasma striation 관련 문의 [1] file 165
15 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 165
14 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 151
13 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 149
12 Polymer Temp Etch [1] 146

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