Wavelength= wave speed*velocity factor/Frequency로 한파장을 계산합니다.

일반적으로 1/4, 1/2, 3/4, 1 람다로 사용합니다. 해당 신호는 RF이면서 교류이기 때문에 신호의 시작점에서 matching 컨트롤 하기 편하기 위해서 그럴 것 같습니다.

예를 들어 13.56MHz 에 66%의 속도의 케이블의 1람다는 14.6m 1/2람다는 7.3m   1+1/2람다는 21.9m 입니다.

사인파 웨이브의 한 파장 길이가 1람다라고 말합니다.

절대 안된다고 하는 것에 대한 정확한 이유는 모르겠습니다만 아마 사용하시는 match의 phase error 시그널 관련 tuning이 되지 않아서 그럴 것 같습니다.

해당 평가 설비 시 RF component의 의견을 한번 보셔야 할 것 같습니다.

동축 케이블 길이와 파장을 맞추는 이유가 뭘까요? 생각해 보세요.

아울러 RF 전원 (내부 저항 R=50ohm)과 matcher를 거쳐 플라즈마 본체와 연결이 되는 구성입니다. 여기서 동축 케이블 길이로 가정해야 하는 길이는 어떻게 정의할 수 있을까요? matcher의 기능을 고려해서 생각해 보시기 바라며,  전원 관점에서 보면 matcher + 연결부 (안테나/전극)의 임피던스와 플라즈마 임피던스 (반응기 임피던스)를 포함해서 전원의 임피던스 (R=50ohm)에 맞게 됩니다. (매처의 기능입니다.) 따라서 현재 질문은 전원 출력단으로 부터 어디까지 길이를 의미할까 이렇게 생각해 보시기 바랍니다. 

파장의 형태를 고민하는 이유는 matching 범위 내에 놓이는가를 판단하려는 일차 목적을 가질 것이이, 이 방식의 생각을 추천합니다. 

아울러 RF 플라즈마를 다룰 때는 플라즈마 임피던스를 기반으로 해석을 합니다. 전기회로 해석과 동일한데, 여기서 플라즈마는 active component로 passive R/C/L 값으로 dynamic 특성을 잘 추적해서 조절하는 것이 플라즈마 제어라 할 수 있습니다. 생각을 키워 보시기 바랍니다.