Plasma Source 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성

2023.03.07 09:48

최창우 조회 수:615

기초적인 질문이지만 답변 해주시면 정말 감사하겠습니다. 

 

1. 챔버 시즈닝을 SiO2로 했을때, 플라즈마를 인가하면 플라즈마의 영향으로 챔버시즈닝이 각 O2-와 Si4+로 분해가 일어날수있나요? 

 일어난다면 흔한일일까요 ?? 

 

2. 1번과 같은 관점에서 플라즈마 gas를 각각 N2 , H2 로 인가한다면, 제가 생각하기에는 수소원자가 질량이 낮으니 O를 떼어 낼 만한 힘이 없어서 N2 는 1과같은 일이 발생할수 있을거 같고, H2는 힘들것 같은데 어떤것이 맞는지 궁금합니다 

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