Plasma in general plasma modeling 관련 질문

2022.12.04 20:24

byungjun 조회 수:383

안녕하세요, 저는 플라즈마 응용연구실에서 공부하고있는 우병준 이라고 합니다.

 

 plasma modeling 에 대해서 공부를 하던 도중, 

 

SIOC 박막을 CF4 plasma 를 이용해서 식각하는 과정에서, plasma modeling 이 들어가게 되었는데,

 

Langmuir probe 의 ion density 와 Te 를 갖고 F 의 flux 를 계산하는 방법을 알아내기 위해 여러 논문을 서칭했습니다만, 감이 잘 잡히지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

 

0-dimension plasma modeling 을 하기 위해서 고려해야하는 reaction table 의 여러 반응들을 어떻게 기준을 잡아야하는지 잘 모르겠습니다.

 

예를들어, F의 flux 를 결정하는 조건들이 있을텐데 그 조건에 대한 기준을 어떻게 잡아야하는지 모르겠습니다.

 

다른 논문에서 진행했던 방식을 그대로 가져와서 하는건지, 아니면 제가 modeling 의 기준을 잡아야하는건가요 ? 

 

처음하는 분야이다 보니 많이 막막해서, 어떤 방향으로 공부를 해 나가야할지 모르겠어서 질문드립니다..! 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91696
103 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 556
102 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 550
101 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
100 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 542
99 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 538
98 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 536
97 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 536
96 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 526
95 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 515
94 self bias [1] 514
93 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 508
92 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 504
91 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 495
90 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 492
89 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 480
88 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 477
87 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 474
86 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
85 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 469
84 PECVD Uniformity [1] 467

Boards


XE Login