Plasma in general 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무
2023.01.16 16:15
Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.
해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.
실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76677 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57151 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68672 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92182 |
| 107 | 핵융합 질문 [1] | 567 |
| 106 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
| 105 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
| 104 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 549 |
| 103 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 546 |
| 102 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 543 |
| 101 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1]  | 543 |
| 100 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 540 |
| 99 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 536 |
| 98 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 525 |
| 97 | self bias [1] | 525 |
| 96 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1] | 516 |
| 95 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 512 |
| 94 |
안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다.
[1] | 499 |
| 93 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 499 |
| 92 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 494 |
| 91 | PECVD Uniformity [1] | 489 |
| 90 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 487 |
| 89 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
| 88 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 482 |