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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown]
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Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma]
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화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마]
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HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다.
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플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가]
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챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식]
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Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해]
[1] | 391 |
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반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가]
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RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power]
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CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력
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Druyvesteyn Distribution
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RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다.
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플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해]
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Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터]
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내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링]
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ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각]
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corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마]
[1] | 330 |
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Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어]
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RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화
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