Deposition PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정]

2019.06.21 13:12

베컴 조회 수:32792

안녕하십니까?

 

현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...

PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.

PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

수고하십시오.

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