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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]
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RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해]
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해]
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PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
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플라즈마 설비에 대한 질문
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Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포]
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HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant]
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Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해]
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micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장]
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown]
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RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭]
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RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다.
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ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각]
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어]
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Druyvesteyn Distribution
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내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링]
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스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해]
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플라즈마 식각 커스핑 식각량
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Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파]
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