Others 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다.
2017.03.29 15:16
안녕하세요?
호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.
스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.
"플라즈마 구 예시"(링크)
플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.
그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의 이 전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.
그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?
손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76538 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91694 |
644 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19721 |
643 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19710 |
642 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19681 |
641 | DC SPT 문의 | 19680 |
640 | cross section 질문 [1] | 19665 |
639 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19650 |
638 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19638 |
637 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19527 |
636 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19456 |
635 | self bias [1] | 19455 |
634 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19439 |
633 | QMA에 관하여 [1] | 19417 |
632 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19407 |
631 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19369 |
630 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19351 |
629 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19336 |
628 | MFC | 19318 |
627 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19296 |
626 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19204 |
625 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19189 |
혼돈이 큽니다. 먼저 플라즈마의 생성 조건 (breakdown conditon)인 파센의 법칙(Paschen's law)를 공부해 보시기를 추천합니다.