Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.
2018.10.24 11:25
안녕하세요.
플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.
한가지 질문 드릴게 있어서요,
Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서
두개의 matching box로 가게 가능 할까요?
즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.
이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서
어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?
관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] | 76710 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20162 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57162 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68684 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92243 |
648 | PM을 한번 하시죠 | 19726 |
647 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19711 |
646 | cross section 질문 [1] | 19711 |
645 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19687 |
644 | DC SPT 문의 | 19680 |
643 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19657 |
642 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
641 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19539 |
640 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19467 |
639 | self bias [1] | 19467 |
638 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19460 |
637 | QMA에 관하여 [1] | 19425 |
636 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19415 |
635 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19377 |
634 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
633 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19342 |
632 | MFC | 19331 |
631 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19314 |
630 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19213 |
629 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
가능하지 않을 이유가 없을 것 같습니다만, matcher 동작이 매우 어색할 것 같고, 공정 제어에 matcher의 성능은 매우 중요한 인자이므로 metcher 반응을 늦게 만드는 요인은 가능한 제거하는 것이 좋을 것 같습니다.