안녕하세요, 한국기술교육대학교에서 석사과정중인 최인규입니다.


현재, Plasma 상태에서의 분자와 기판의 반응을 시뮬레이션을 통해서 모사해 보려고 하고 있습니다.


다만 현재 N 플라즈마 상태에서, N이 어떠한 형태로 존재하는지 알지 못하고 있습니다. 


H 플라즈마의 경우에는 I. Mendezet al , J. Phys. Chem . Rev . A 110 2006 ) 6060 6 논문을 참고하여, 


H 원자 형태로 가장 많이 존재하며 그 이후로 H3+, H+, H2+ 순으로 구성되어있다고 하는데,


N 플라즈마의 경우 대부분이 N+ / N2+ 의 비율로만 보여주고 있어 어려움이 있습니다.


혹 N이 이온이 아닌 원자 형태로 존재하는지, 존재를 한다면 N+, N2+ 대비 얼마나 존재 할지 궁금하여 질문드립니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
132 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2716
131 질문있습니다. [1] 2545
130 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2425
129 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2342
128 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2319
127 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2275
126 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2226
125 플라즈마볼 제작시 [1] file 2214
124 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2164
» N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2117
122 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2092
121 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2089
120 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1950
119 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1947
118 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1944
117 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1925
116 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1878
115 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1855
114 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1780
113 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1734

Boards


XE Login