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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20077 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1690 |
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다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1677 |
110 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1668 |
109 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1634 |
108 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1564 |
107 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1550 |
106 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1520 |
105 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1476 |
104 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1453 |
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강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1442 |
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1437 |
101 |
O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1414 |
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플라즈마 관련 교육
[1] | 1384 |
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플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1382 |
98 |
low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
[1] | 1336 |
97 |
Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 1320 |
96 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 1308 |
95 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1279 |
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1268 |
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플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2] | 1232 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.