OES OES 원리에 대해 궁금합니다!

2018.05.31 19:08

이혜지 조회 수:26285

안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다

이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데

생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다

플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??

부탁드립니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [281] 77181
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20453
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57350
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68888
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92928
64 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 358
63 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 346
62 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 342
61 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 342
60 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 341
59 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 335
58 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 331
57 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 330
56 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 326
55 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 311
54 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 299
53 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 286
52 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 282
51 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 279
50 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 269
49 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 263
48 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 250
47 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 245
46 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 244
45 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 243

Boards


XE Login