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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58464
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628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 56
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 915
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624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 136
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613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 271
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 155
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 297
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 205
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