- Publications
-
2024 Physics of Plasmas Plasma heating characterization of the large area inductively coupled plasma etchers with the plasma information for managing the mass production 2024 Current Applied Physics Observation of the floating sheath distribution on Al2O3 and silicon targets adjacent to a DC biased metal substrate 2022 Current Applied Physics Investigation of ion-induced etch damages on trench surface of Ge2Sb2Te5 in high density Ar/SF6 plasma 2022 Journal of the Korean Physical Society Plasma Information-based virtual metrology (PI-VM) and mass production process control 2022 Plasma Sources Science and Technology Investigation of ion collision effect on electrostatic sheath formation in weakly ionized and weakly collisional plasma
- Awards
-
2023 KVS 유도 결합 플라즈마의 변압기 회로 모델 기반 용량성-유도성 전력 결합 특성 해석 2023 KAPRA & KPS/DPP Enhancement of Sputtering Yield on Tungsten with Argon Ion Fluence 2022 1st International Fusion and Plasma Conference Plasma information based Advanced Process Controller for Plasma Etch Process 2022 KAPRA & KPS/DPP 고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측... 2021 AEC/APC Symposium Asia 2021 Development of Si Etch Profile Virtual Metrology using Plasma Information(PI-VM) in SF6/O2/Ar Capacit...
- Q & A
-
ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 1 2024-07-26 16:47 유석범 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 1 2024-07-25 16:45 이현태 인가전압과 ESC의 관계 질문 1 2024-07-24 12:07 김명준 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 2 2024-07-19 15:41 문석현 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] 1 2024-07-16 17:29 신윤우 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] 1 2024-07-16 16:22 주정아 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 2024-07-15 13:49 유진 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] 1 2024-07-13 21:43 예성민 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] 1 2024-07-05 06:52 신경철 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [재료 표면 반응] 1 2024-07-03 10:26 김대환
Phone: +82-2-880-8971 Fax: +82-2-889-2688 Webmaster: wlgnstlsqkf@snu.ac.kr
Plasma Application Laboratory, building 30, room 102, 1, Gwanak-ro, Gwanak-gu, Seoul, Republic of Korea
Department of Energy System Engineering (Nuclear Engineering), Seoul National University
|