- Q & A
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 1 2010-01-07 01:26 류진하 GND 에 Depo가 쌓임으로서 그다음 Step의 Vpp 영향을 끼치게 되는 원리에 대해 질문 있습니다. 1 
2020-11-09 11:58 홍성인 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 
2020-10-28 15:20 노은수 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. 1
2020-10-16 19:25 김응렬 연면거리에 대해 궁금합니다. 1
2020-10-13 15:31 김민수 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 1
2020-10-05 16:01 문세영 플라즈마볼 제작시 1
2020-10-04 00:29 김준영 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) 1
2020-09-25 10:30 박광찬 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 1
2020-09-18 08:27 Matthew 이게 플라즈마가 맞나요? 1
2020-09-15 15:21 장혜지
