누구

 

교수님2.JPG
Name Kim, Gon Ho

Affiliation

Professor, Department of Energy Systems Engineering(Nuclear Engineering)
College of Engineering, Seoul National University

Educational Background Ph.D in University of Wisconsin, 1993
Telephone

+82-2-880-7468

E-mail ghkim@snu.ac.kr
Research Topic Plasma Engineering

 

   

Ph.D.

   

Ph.D. Candidate

   
유상원.jpg
Name 유상원(Ryu, Sangwon)
Research Topic

반도체 공정 플라즈마 진단 (Semiconductor Process Plasma Diagnostic)

E-mail

swryus@snu.ac.kr

송재민2.jpg
Name 송재민(Song, Jae-Min)
Research Topic

전자 사이클로트론 공명 플라즈마 연구

E-mail

woals356@snu.ac.kr

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Name 노기백(Roh, Ki-Baek)
Research Topic

열플라즈마 대면재 연구

E-mail

tommyfly@snu.ac.kr

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Name 권지원(Kwon, Ji-Won)
Research Topic

플라즈마 광진단

E-mail

anakin1229@snu.ac.kr

이명건.jpg
Name 이명건(Lee, Myeong-Geon)
Research Topic

열플라즈마 대면재 연구

E-mail

lmg1142@snu.ac.kr

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Name 박태준(Park, Taejun)
Research Topic

RF 플라즈마 sheath 내 이온 거동 연구

E-mail

ptj9874@snu.ac.kr

   

MS. Candidate

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Name 이하늘(Lee, Haneul)
Research Topic

ICP heating 응용, 플라즈마 산포 해석, 플라즈마 광진단

E-mail

haneul7475@snu.ac.kr

배남재.jpg
Name 배남재(Bae, Namjae)
Research Topic

펄스 플라즈마 실시간 진단

E-mail

baenj2002@snu.ac.kr

박지훈.jpg
Name 박지훈(Park, Jihoon)
Research Topic

플라즈마 광진단

E-mail

wlgnstlsqkf@snu.ac.kr

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Name 임성재(Lim, Seongjae)
Research Topic

반도체 공정 플라즈마

E-mail

sjae.lim@snu.ac.kr

이인규.jpg
Name 이인규(Lee, Ingyu)
Research Topic

반도체 공정 플라즈마

E-mail

dusemong@snu.ac.kr

손성현.jpg
Name 손성현(Son, Sunghyun)
Research Topic

플라즈마 분포 해석

E-mail

thstjdgus9@snu.ac.kr

Alumni

   

Ph.D

   
조정현.jpg
Name 조정현 (Ph.D.)
Thesis

Structural Deformation of Carbon Nanotubes by Plasma Particle Interaction

Affliation

삼성전자 생산기술연구소

최재명.jpg
Name 최재명 (Ph.D.)
Thesis

Dynamics of Recovering Sheath and Presheath in a Colisionless Plasma

Affliation

삼성전자 반도체연구소

이석환.jpg
Name 이석환 (Ph.D.)
Thesis

 Effect of Elastic Collision and Asymmetric Sheaths on Standing Wave
Property in Capacitively Coupled Pasma

Affliation

LAM Research Korea Ltd.

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Name 김현수 (Ph.D.)
Thesis

 Surface Damage Mechanism of Tungsten by Heat Flux and Deuterium Ion
Irradiation in Nuclear Fusion

Affliation

삼성전자 반도체연구소

박설혜2.jpg
Name 박설혜 (Ph.D.)
Thesis

 Development of Plasma Information Based Virtual Metrology (PI-VM) for
Plasma-assisted Processes

Affliation

삼성디스플레이 연구소

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Name 임선택 (Ph.D.)
Thesis

 Investigation of Deuterium Plasma Property Variation by Carbon Impurity
from Graphite

Affliation

삼성전자 반도체연구소

최명선.jpg
Name 최명선 (Ph.D.)
Thesis

 Development of Equivalent Circuit Model for Very High Frequency Driven
Capacitively Coupled Plasmas

Affliation

삼성전자 생산기술연구소

허성렬.jpg
Name 허성렬 (Ph.D.)
Thesis

 Characteristics of Hydrogen Negative Ion Production depending on
Electron Energy Distributions in Inductively Coupled Plasmas

Affliation

한국원자력연구원

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Name 윤성영 (Ph.D.)
Thesis

 Generation Mechanism of Hydroxyl Radical in Electrolyte Streamer
Discharge

Affliation

국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터

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Name 진영길 (Ph.D.)
Thesis

 Development of Hydrogen Retention Model Based on Plasma-Tungsten
Interaction Analysis

Affliation

삼성디스플레이 연구소

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Name 노현준 (Ph.D.)
Thesis

 Development of Plasma Information Based Virtual Metrology (PI-VM) for
Drifting Deposition Process

Affliation

삼성전자 반도체연구소

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Name 김남균 (Ph.D.)
Thesis

 Investigation of Generalized Bohm Sheath Criterion for Collisional,
Magnetized and RF Plasmas

Affliation

삼성전자 생산기술연구소

이진영.jpg
Name 이진영 (Ph.D.)
Thesis

 Plasma Information-Virtual Metrology(PI-VM) on Interlayer Formation of
Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Affliation

한국 기계연구원

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Name 장윤창 (Ph.D.)
Thesis

 Plasma Information Variables Based on Ion Dynamics in Collisional RF
Sheath for Etching Profile Monitoring

Affliation

삼성전자 메모리사업부

MS.

   
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Name 정수연 (MS)
Thesis

대기압 플라즈마를 이용한 식각 장치 개발

Affliation

Samsung Electronics

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Name 송상헌 (MS)
Thesis

 Characteristics of atmospheric dielectric barrier discharge plasma for
photo-resistor etching

Affliation

Samsung Electronics

우제헌.jpg
Name 우제헌 (MS)
Thesis

 Algorithm for analysis of electron energy distribution function from
Langmuir probe data using wavelet transform

Affliation

삼성전자 생산기술연구소

이승훈.jpg
Name 이승훈 (MS)
Thesis

 Diagnostics of atmospheric pressure plasma

Affliation

한국 기계연구원

상민형.jpg
Name 정상민 (MS)
Thesis

 삼중 주파수 운전 용량 결합형 장치에서 플라즈마 광진단을 이용한
전력 의존 시각 공정 제어 연구

Affliation

삼성전자 생산기술연구소

김수정.jpg
Name 김수정 (MS)
Thesis

Characteristics of Helium Atmospheric Pressure Plasma Bullet Propagation

Affliation

한국 원자력 통제 기술원

배병준.jpg
Name 배병준 (MS)
Thesis

저주파 인가 대기압 유전체 격벽 헬륨 플라즈마의 방전 특성 연구

Affliation

삼성전자 반도체연구소


Introduction


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