matcher를 봤을 때 직렬은 tune 병렬은 load라 튠값으로는 리액턴스를 로드 값으로는 저항성분에 대해 알 수 있다고 알고 있는데요

가끔 로드랑 튠 값이 흔들리고 산포가 좋지 않을 때가 있다합니다. 이렇게 값들이 흔들리는 이유로는 전체적으로 뭐가 있을까요?

또 plasma를 켰을 떄 매쳐의 로드와 튠 값에 영향을 주는 이자들은 무엇들이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77303
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20501
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57414
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68950
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
510 MFP에 대해서.. [1] 7843
509 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7716
508 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7685
507 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7682
506 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7373
505 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7147
504 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6876
503 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6731
502 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6575
501 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6543
500 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6520
499 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6505
498 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6483
497 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6483
496 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6475
495 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6424
494 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6413
493 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6379
492 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6372
491 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6333

Boards


XE Login