Plasma Source 플라즈마 챔버
2021.03.18 20:01
안녕하십니까. 반도체 업체에 근무하고 있는 회사원입니다.
다름이 아니라 플라즈마에 챔버에 대해 질문이 있어 이렇게 글을 올립니다.
플라즈마 챔버 설계를 진행하려 합니다.
혹시....... Gas를 NF3를 사용하게 되면 스테인리스 챔버로 제작를 진행해도 괜찮을까요?
아니면 알루미늄 챔버로 제작을 해야 하나요?
위 두가지 챔버 제작의 경우 사용 불가한 이유가 있으면 알고 싶습니다.
너무 궁긍하여 글을 올립니다.
답변 부탁드립니다.
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76978 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20332 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57252 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68800 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92795 |
| 281 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9544 |
| 280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9643 |
| 279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9677 |
| 278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
| 277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9887 |
| 276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10029 |
| 275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10324 |
| 274 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10386 |
| 273 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10387 |
| 272 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10493 |
| 271 | RGA에 대해서 | 10552 |
| 270 | DC bias (Self bias) [3] | 11315 |
| 269 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11494 |
| 268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11508 |
| 267 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11533 |
| 266 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12366 |
| 265 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12546 |
| 264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12775 |
| 263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12813 |
| 262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13069 |
챔버 재료 선택에 앞서 처리 대상인 공정을 좀 더 면밀하게 조사사실 필요가 있어 보입니다. 일반적으로는 식각 공정에 metal을 직접 노출시키지는 않으며 Al 챔버를 사용하는 이유는 열팽창/수축에 유리하기 때문입니다. 따라서 Al2O3 coating을 한 내벽 shroud 을 장착합니다. 화학반응+내열조건에 대해서 반드시 고려하셔야 하고, 진공 seal 과 전기적 접촉도 중요하다고 알고 있습니다. 참고가 되었으면 합니다.