Plasma in general 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무

2023.01.16 16:15

karsir 조회 수:173

Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.

해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.

실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76891
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57204
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92717
779 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 139
778 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 143
777 Microwave & RF Plasma [1] 143
776 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 143
775 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 155
774 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 157
773 ICP에서 전자의 가속 [1] 169
772 corona model에 대한 질문입니다. [1] 171
» 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 173
770 skin depth에 대한 이해 [1] 177
769 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 187
768 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 189
767 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 190
766 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 196
765 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 201
764 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 202
763 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 208
762 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 211
761 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 217
760 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 226
쓰기
태그

Boards

XE Login