Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지

2023.12.05 19:04

양은혁 조회 수:151

안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77210
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
766 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 102
765 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 205
764 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 351
763 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 393
762 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 218
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 251
760 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 613
759 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 738
» DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 151
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 452
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 201
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 281
754 PECVD Uniformity [1] 591
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 697
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 273
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 445
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 337
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 791
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 430
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 851
쓰기
태그

Boards

XE Login