Plasma in general RF generator의 AMP 종류 질문입니다.
2024.02.23 10:12
안녕하세요.
generator에는 A, B, AB, C ,D Class중 주로 어떤 class를 사용하나요?
이유도 궁금합니다..^^;;
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68759 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
779 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 284 |
778 | Microwave & RF Plasma [1] | 144 |
777 | 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] | 211 |
776 | ICP에서 전자의 가속 [1] | 171 |
775 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 65 |
774 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 304 |
773 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 74 |
» | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 121 |
771 | CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] | 191 |
770 | 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] | 203 |
769 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 82 |
768 | Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] | 262 |
767 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 139 |
766 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 95 |
765 | FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 | 187 |
764 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 330 |
763 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 372 |
762 | AP plasma 공정 관련 문의 [1] | 208 |
761 | Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] | 226 |
760 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 587 |
안녕하세요 제네레이터 마다의 amp class는 각 회로마다의 효율성이 다릅니다.
예를 들어 A class의 경우 효율성이 많이 생각해 봤자 50% 정도입니다.
따라서 효율이 적은 전자제품은 입력전력이 많이 들어 결국엔 전기를 많이 소모합니다.
일반적으로 사용하는 amp는 D, E, F 등의 효율성이 70%이상 나오는 amp입니다.
효율은 입력전압 전류 팩터와 아웃풋 파워에 대한 efficiency입니다.