Plasma in general 플라즈마 사이즈 측정 방법
2024.07.02 08:43
안녕하세요. 플라즈마 관련된 회사에 다니고 있습니다.
관련되어 기초도 아직 잘 몰라서 질문방에서 많이 공부하고있습니다.
질문은 아래와 같습니다.
플라즈마 빔 사이즈 크기 측정 방법.
- OES 를 활용하여 측정외에 다른 방법이 있을까요? (Ar, He gas 사용.)
- 예) 카메라 촬영 후 현미경 혹은 포토샵
- 열화상 카메라 활용 등
측정 할수있는 방법이 궁금합니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [293] | 77381 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20520 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57455 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68988 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93009 |
13 | CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] | 90 |
12 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 85 |
11 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 77 |
10 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 70 |
9 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 66 |
» | 플라즈마 사이즈 측정 방법 [1] | 64 |
7 | Druyvesteyn Distribution | 61 |
6 | Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] | 58 |
5 | micro arc에 대해 질문드립니다. [1] | 50 |
4 | Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] | 46 |
3 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 45 |
2 | 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] | 43 |
1 | Debey Length에 대해 문의 드립니다. [1] | 12 |
플라즈마 사이즈를 알고자 함은 공정 균일도를 예상하려는 목적일 것입니다.
실제 플라즈마 사이즈를 알 수 있는 방법은 없으며 실제 공정 균일도와 matching이 잘 되는 센싱 방법을 활발하게 연구하고 있습니다.
가장 적극적인 방법은 탐침을 이용해서 플라즈마 균일도를 실측하는 방법이 있기는 합니다만, 이 자료는 공정 균일도에 기여하는 플라즈마 분포 정보일 뿐입니다. 즉 공정 균일도 데이터는 실제 dummy 웨이퍼 등을 써서 공정 분포 및 산포를 평가하는 것이 가장 확실합니다. 또는 웨이퍼 형 플라즈마 진단계가 개발되어 플라즈마 분포를 측정할 수 있습니다. 이를 공정 분포 데이터와 비교해서 상관관계 정보를 얻는 방법을 추천드립니다.