ESC Dry Etcher 내 reflect 현상
2009.08.07 13:39
안녕하세요 저는 Dry Etcher 네 세라믹 Coating Type 정전척 ESC 만드는 회사에 다니고 있습니다.
다름이 아니라 고객사에서 Dry Etcher 장비 의 Reflect현상이 발생했다고 하는데 , 이현상에 대해 설명 부탁드립니다.
아울러 이 현상과 ESC 연관성에 대해서도 설명 부탁드립니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77331 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20510 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57430 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68969 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92996 |
90 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 453 |
89 | 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] | 448 |
88 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 444 |
87 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 439 |
86 | center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 | 437 |
85 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 436 |
84 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 434 |
83 | PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] | 433 |
82 | 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] | 427 |
81 | CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] | 426 |
80 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 419 |
79 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 408 |
78 | plasma modeling 관련 질문 [1] | 400 |
77 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 397 |
76 | 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] | 397 |
75 | plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] | 395 |
74 | RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] | 389 |
73 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 388 |
72 | chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] | 386 |
71 | 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] | 383 |