Others 석영이 사용되는 이유?

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:20050 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77151
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20432
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57337
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92905
682 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 593
681 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 594
680 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 599
679 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 600
678 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 601
677 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 602
676 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
675 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 604
674 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 615
673 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 616
672 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 618
671 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 622
670 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 622
669 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 623
668 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 625
667 RF Sputtering Target Issue [2] file 627
666 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 627
665 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 632
664 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 638
663 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 638

Boards


XE Login