Sputtering UBM 스퍼터링 장비로...
2010.06.01 23:11
안녕 하십니까. UBM장비로 SUS 시편 두께에 따라 박막 두께도 달라지는지.. 달라지면 어떻게 달라지는지 Ti로 코팅하고 있는데 챔버를 열었을시 상온 과 챔버내 온도 차로 인하여 생기는 문제점들과 BIAS-DC ARC 장비로 챔버내에 하드 아킹이 일어나는 원인이 어떤것들이 있는지 알고 싶습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76888 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20285 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92713 |
119 | Three body collision process | 20651 |
118 | 교재구입 | 20727 |
117 | 이온주입량에 대한 문의 | 20742 |
116 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20808 |
115 | plasma cleanning에 관하여.... | 20839 |
» | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20918 |
113 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20979 |
112 | 대기압플라즈마 진단 | 21025 |
111 | 플라즈마란? | 21063 |
110 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21112 |
109 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21202 |
108 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21322 |
107 | 플라즈마 측정기 [1] | 21335 |
106 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21337 |
105 | 플라즈마 실험 | 21351 |
104 | Breakdown에 대해 | 21385 |
103 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21417 |
102 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21425 |
101 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21515 |
100 | F/S (Faraday Shield) | 21524 |