Langmuir Probe pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련..
2010.06.29 08:37
60 MHz pulse generator와 60 MHz matching box를 구입하여 pulse plasma 특성들 (EEDF, Vp, Te, etc..)을 Langmuir probe를 이용해 측정하려 합니다. 그런데 pulse plasma 측정 방법에 대해 아는 부분이 없습니다. 일반적인 cw plasma 측정과 달리 pulse plasma는 TTL signal이 필요하다고 하는데 TTL signal이 무엇인지 궁금합니다.
그리고 pulse 주기에 따라 이를 측정하기 위한 장치들이 필요하다면 무엇이 필요한지 알고 싶습니다.
time-resolved, time-dependent plasma의 차이도 궁금하구요...
저희 Langmuir probe는 Hiden 社이며 EPison controller를 이용하고 있습니다.
한번에 너무 많은 것을 물어봐서 죄송합니다만, 자세히 알고 싶습니다.
부탁드립니다.
(혹시 관련 manual 자료가 있으면 받을 수 있을까요?)
댓글 1
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