ATM Plasma 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
2014.06.20 14:08
안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.
최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.
플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.
특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.
그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.
플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76895 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92718 |
| 299 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1443 |
| 298 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1442 |
| 297 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1439 |
| 296 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1438 |
| 295 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
 | 1427 |
| 294 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1417 |
| 293 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1415 |
| 292 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1410 |
| 291 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1408 |
| 290 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1398 |
| 289 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1393 |
| 288 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1390 |
| 287 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1385 |
| 286 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1379 |
| 285 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1379 |
| 284 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1369 |
| 283 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1368 |
| 282 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1363 |
| 281 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1355 |
| 280 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1349 |