안녕하십니까?

현재 부산대학교에 재학중인 학생입니다.

이번 과제로 플라즈마 소각기술에 관해 발표를 하게 되어 조사하던 중 궁금한 점이 있어 질문드리게 되었습니다.

1. 플라즈마 용융 유리화 기술이라는 것을 알게 되었습니다.

혹시 플라즈마 토치와 아크와 같은 종류 중 하나인지

아니면 고온플라즈마, 저온플라즈마와 같이 플라즈마 기술 중 하나인건지 알고 싶어 질문 드리게 되었습니다.

2. 고온플라즈마는 핵융합에 응용되고 저온 플라즈마는 산업용으로 이용된다고 알고 있습니다.

저온플라즈마의 종류 안에 열플라즈마가 있는 것인지 궁금합니다.

3. 저온플라즈마와 열플라즈마의 차이점이 무엇인지 알고 싶습니다.


답변 부탁드립니다.^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77193
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20457
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92938
345 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1874
344 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1836
343 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1833
342 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1813
341 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1786
340 터보펌프 에러관련 [1] 1777
339 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1772
338 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1723
337 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1721
336 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1713
335 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1709
334 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1696
333 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1695
332 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1688
331 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1688
330 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1678
329 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1645
328 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1641
327 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1622
326 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1587

Boards


XE Login