안녕하십니까?

현재 부산대학교에 재학중인 학생입니다.

이번 과제로 플라즈마 소각기술에 관해 발표를 하게 되어 조사하던 중 궁금한 점이 있어 질문드리게 되었습니다.

1. 플라즈마 용융 유리화 기술이라는 것을 알게 되었습니다.

혹시 플라즈마 토치와 아크와 같은 종류 중 하나인지

아니면 고온플라즈마, 저온플라즈마와 같이 플라즈마 기술 중 하나인건지 알고 싶어 질문 드리게 되었습니다.

2. 고온플라즈마는 핵융합에 응용되고 저온 플라즈마는 산업용으로 이용된다고 알고 있습니다.

저온플라즈마의 종류 안에 열플라즈마가 있는 것인지 궁금합니다.

3. 저온플라즈마와 열플라즈마의 차이점이 무엇인지 알고 싶습니다.


답변 부탁드립니다.^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76897
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57205
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68759
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
319 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1552
318 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1539
317 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1536
316 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1527
315 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1525
314 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1514
313 charge effect에 대해 [2] 1481
312 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1476
311 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1475
310 ICP lower power 와 RF bias [1] 1473
309 알고싶습니다 [1] 1471
308 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1469
307 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1469
306 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1468
305 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
304 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1460
303 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1455
302 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1455
301 Ar plasma power/time [1] 1447
300 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1446

Boards


XE Login