안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77118
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20413
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57326
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68863
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92883
601 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 904
600 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 908
599 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 908
598 Plasma Generator 관련해서요. [1] 913
» 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 935
596 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 939
595 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 944
594 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 962
593 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 969
592 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 972
591 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 980
590 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 980
589 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 981
588 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 984
587 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1004
586 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1004
585 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1007
584 anode sheath 질문드립니다. [1] 1013
583 고진공 만드는방법. [1] 1018
582 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1020

Boards


XE Login