Others 고진공 만드는방법.
2017.12.15 22:16
background pressure 이 10^-7이 되게 하려면
단순히 diffusion pump 와 rotary oil pump만을 이용해서 만들수있나요??
그리고 전체적인 구조는 어떻게 될가요. background pressure 가 10^-7이면
ultrahigh vac을 만드려고 하는거 같은데 ion pump 나 TSP가 추가돼야 할까요?
단순하게 이론적으로 궁금하네요.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77203 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20464 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57360 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68899 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92945 |
286 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 9028 |
285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9063 |
284 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9271 |
283 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9273 |
282 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9538 |
281 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9559 |
280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9649 |
279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9685 |
278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9846 |
277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9910 |
276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10048 |
275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10337 |
274 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10397 |
273 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10401 |
272 | RGA에 대해서 | 10557 |
271 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10568 |
270 | DC bias (Self bias) [3] | 11347 |
269 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11509 |
268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11569 |
267 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11662 |