Plasma in general Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘]
2018.10.26 09:58
안녕하세요. 반도체 회산 근무중인 사람인데요.
궁금증이 있어 몇가지 질문 드립니다.
1. Descum 기본 원리
*. RF + O2 를 이용한 Plasma 발생 및 Descum 진행 원리
*. RF + MW + O2 를 이용한 Plasma 발생 및 Descum 진행 원리
2. Descum 시 발생하는 광원에 대하여..
*. Descum 시 발생하는 광원의 종류
è Plasma 발생 파장에 따른 Graph화된 자료가 있으면 좀 더 쉽게 이해 될 것 같습니다.
è 해당 광원이 UV에 해당하는 광원 인가요?
3. RF Generator
*. RF Generator의 기본적인 역할
*. RF Generator가 파장의 변화를 줄 수 있는지?(공정 조건은 동일하다는 가정하에)
질문이 많아 죄송합니다.
답변 부탁 드립니다.
감사합니다.
