Plasma Source Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
2019.06.26 10:25
안녕하십니까.. 현재 반도체업계 종사중이며 Plasma 관련 일을 하고 있습니다.
다름이 아니오라 궁금한 점이 있어 이렇게 글을 올립니다.
Plasma에 의한 Gas 분해 및 치환 시 하기와 같은 예로
Zr[N(CH3)(C2H5)]4 ---->Zr + N + C + H (O2 Add)
-- Zr + O2 --->ZrO2
-- C + O2 -->CO2
-- N + N --> N2
-- 4H + O2 -->2H2O
반응하여 생성된다고 가정하였을 때
반도체 공정중에서 Plasma를 발생시켜 Source Gas 및 Add Gas를 반응시켰을 시
1. 생성되는 Powder 종류
2. 생성되는 Gas 종류
3. 항목 1~2에서 우선순위로 생성되는 Gas 및 Powder 종류
위 내용에 관련하여 조언 및 교육을 받고자 하오니 답변 부탁드리겠습니다.
이상입니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77080 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20394 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57304 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68847 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92855 |
181 | PDP 에 대해서.. | 18307 |
180 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18321 |
179 | Faraday shielding & Screening effect | 18365 |
178 | 질문 있습니다. [1] | 18370 |
177 | 물리적인 sputterting | 18384 |
176 | RF compensate probe | 18455 |
175 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18537 |
174 | 최적의 펌프는? | 18548 |
173 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18554 |
172 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18558 |
171 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18569 |
170 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18659 |
169 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18738 |
168 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18768 |
167 | 플라즈마의 환경이용 | 18772 |
166 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18776 |
165 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18881 |
164 | 플라즈마에 관하여... | 18964 |
163 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19053 |
162 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19137 |