Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.
2020.07.30 19:43
안녕하세요
재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.
약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데
그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.
Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....
O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.
O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.
그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?
작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.
무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76901 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20295 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57211 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68763 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92720 |
219 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1019 |
218 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1018 |
217 | 고진공 만드는방법. [1] | 1015 |
216 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 1007 |
215 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1006 |
214 | CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] | 996 |
213 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 993 |
212 | Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] | 979 |
211 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 977 |
210 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 976 |
209 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 970 |
208 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 969 |
207 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 967 |
206 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 960 |
205 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 944 |
204 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 936 |
203 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 931 |
202 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 913 |
201 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 900 |
» | O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] | 899 |