Plasma in general low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
2021.04.09 12:04
안녕하세요, 교수님. 반도체 업종 엔지니어로 일하고 있는 김기영입니다.
다름 아니라 보통 Pressure 영역대가 낮아질수록 아킹이 더 잘 발생한다고 하는데
왜 Low Pressure 영역이 High Pressure 영역보다 Arcing 이 취약한지 문의드립니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76888 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20285 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92715 |
| 519 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1355 |
| 518 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1363 |
| 517 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1367 |
| » | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1369 |
| 515 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1379 |
| 514 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1379 |
| 513 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1384 |
| 512 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1390 |
| 511 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1393 |
| 510 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1398 |
| 509 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1408 |
| 508 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1409 |
| 507 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1415 |
| 506 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1417 |
| 505 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
| 1427 |
| 504 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1438 |
| 503 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1438 |
| 502 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1442 |
| 501 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1443 |
| 500 | Ar plasma power/time [1] | 1446 |