Plasma in general Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
2021.05.22 22:23
교수님 안녕하세요.
1.
http://pal.snu.ac.kr/index.php?mid=board_qna_new&category=67497&document_srl=78754
(Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate)
글 두번째 문단에 '다음으로 플라즈마 밀도를 제어하기 위해서 edge ring 혹은 confinement ring 등을 써서 플라즈마 확산을 줄이고 있습니다.'
부분에 대해 질문드립니다.
→ edge ring 혹은 confinement ring을 통해 "플라즈마 확산을 줄여" 플라즈마 균일하게 밀도를 제어한다는 말씀이신데,
두번째 문단 '가운데 밀도는 비교적 높고 가장자리로 가면서 밀도는 떨어지게 됩니다.'
→ 가장자리로 갈수록 플라즈마 밀도가 떨어지는데,
"플라즈마 확산을 늘려야" 플라즈마 밀도를 균일하게 제어할 수 있는 것이라 생각해 이에 대해 질문드리고 싶습니다.
2. Edge Ring이 플라즈마 밀도의 균일성을 높이는 원리를 설명해주실 수 있을까요?
항상 이 곳에서 많은 도움을 받고, 공부하고 있습니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77156 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20434 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57340 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68884 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92908 |
622 | PDP 에 대해서.. | 18307 |
621 | sputtering | 18306 |
620 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18265 |
619 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18217 |
618 | ICP에 대하여 | 18202 |
617 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18196 |
616 | rotational vibration excitation | 18191 |
615 | 진로상담 | 18154 |
614 | 증착에 대하여... | 18109 |
613 | DBD plasma | 18100 |
612 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18050 |
611 | 플라즈마의 정의 | 18047 |
610 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 18025 |
609 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18021 |
608 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18019 |
607 | Plasma of Bio-Medical Application | 18008 |
606 | electrode gap | 17966 |
605 | 플라즈마 응용분야 | 17869 |
604 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17857 |
603 | capacitively/inductively coupled plasma | 17823 |