OES OES 파장 관련하여 질문 드립니다.
2022.10.26 13:46
안녕하세요 전자공학과 4학년으로 재학하며, 반도체 공정을 진단하는 회사에서 인턴을 진행하고 있습니다.
OES 정보를 이용하여 반도체 공정 데이터를 분석하는 도중, OES 분석을 진행할 때, 특정원소에 대한 정보가 필요한 상황입니다.
해당 게시글에서 김곤호 님의 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요. "
라는 답변을 참고하여 송미영 박사님께 컨택을 드리고 싶은데 한국핵융합에너지연구원 홈페이지에 정보가 부족하여 어려움을 겪고 있습니다.
혹시 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트"라고 말씀하신 곳의 자세한 정보나, 송미영 박사님 컨택 경로에 대해 자세히 알 수 있을까요?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77134 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20421 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57333 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68871 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92894 |
142 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 643 |
141 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 642 |
140 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 637 |
139 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 636 |
138 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 632 |
137 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 627 |
136 | RF Sputtering Target Issue [2] | 626 |
135 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 625 |
» | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 622 |
133 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 619 |
132 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 618 |
131 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 618 |
130 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 614 |
129 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 613 |
128 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 603 |
127 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 603 |
126 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 602 |
125 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 600 |
124 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 599 |
123 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 599 |