Plasma in general self bias [쉬스와 표면 전위]
2023.03.13 16:58
self bias에 대한 개념을 교수님 말씀 읽고 숙지하였습니다 .감사합니다.
그렇다면 교수님, self bias의 정의를 두 전극에 RF바이어스를 가했을 시,면적의 차이 등으로 인해 두 전극에 나타나는 전위차로 설명하는 것은 잘못된 설명인가요?
2023.03.13 16:58
self bias에 대한 개념을 교수님 말씀 읽고 숙지하였습니다 .감사합니다.
그렇다면 교수님, self bias의 정의를 두 전극에 RF바이어스를 가했을 시,면적의 차이 등으로 인해 두 전극에 나타나는 전위차로 설명하는 것은 잘못된 설명인가요?
