Plasma in general Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요?
2023.06.23 11:23
안녕하세요 저는 현재 PECVD 장비를 사용하는 연구원입니다.
어플라이드社의 PRODUCER-S 설비로 ACL 공정을 Set-up하고 있습니다.
Unif를 잡기위해서 압려과 RF Power를 건드려 가며 조정 중에 있는데
RF Ref가 어떤 조건에서는 높게 뜨고 어떤 조건에서는 낮게 뜨는데 어떤 조건이 영향을 미칠까요?
알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
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