안녕하세요. 반도체 업에 종사하고 있는 엔지니어 입니다.

 

제목과 같이 질문을 먼저드리자면

산업에서 사용하는 Plasma를 위주로 다루는 책이나 과목이 있을까요?

 

업무적으로나 개인적으로 궁금한 것이 생기면 여기에서 찾아보곤 하는데요.

질문을 하고 답변을 받으면 해결보다는 공부해야 하는 것들이 더 많아졌습니다.

결과적으로 제가 얻어갈 수 있는 것은 정성적인 설명밖에 없더라구요.

 

제 나름대로는 계산도 해보고 인터넷에서 검색하여 정량적인 결과를 얻어보려고 했지만

Bohm velocity, child langmuir sheath 공식 등등

 

식의 이름도 생소하지만 각 항의 의미라던지 공식의 유도과정등을 인터넷에서 찾아보기에는

각 자료마다 설명하는 방법도 다르고 Plasma 하면 핵융합이나 우주에 있는 Plasma를 연구하기 위한 자료들이 많아

공부하기에 어려움이 있더라구요.

 

꼭 플라즈마 관련된 과목이 아니더라도 이해하는데 도움이 될만한 선수과목까지 알려주시면 감사하겠습니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77304
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20504
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68951
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
770 플라즈마 온도 27863
769 DBD란 27788
768 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27683
767 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27250
766 이온과 라디칼의 농도 file 27076
765 self bias (rf 전압 강하) 26803
764 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26516
763 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 26347
762 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26284
761 충돌단면적에 관하여 [2] 26231
760 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25602
759 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 25001
758 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24928
757 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24913
756 plasma와 arc의 차이는? 24892
755 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24796
754 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24790
753 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24721
752 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24665
751 플라즈마가 불안정한대요.. 24538

Boards


XE Login