Matcher PECVD설비 Matcher 아킹 질문
2023.12.18 13:36
안녕하세요 PECVD설비 다루는 현직 엔지니어 입니다.
Setup중 RPS를 쓰지 않아 RF Generator에서 3.5kW를 공급하는데 Shunt box 볼테이지와 주파수 및 클린 레시피도 바꾸어 봤는데 matcher 내부에 아킹이 발생하네요.
근데 이상한 점이 Process Run 중일 때는 Clean 에러가 뜨지만 제네레이터 초기화 후 메뉴얼로 RF Clean하면 잘 되는데 아킹 발생 이유를 알 수 있을까요?
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77111 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20407 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57318 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68859 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92874 |
121 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 592 |
120 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 592 |
119 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 591 |
118 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
117 | 활성이온 측정 방법 [1] | 575 |
116 | 핵융합 질문 [1] | 575 |
115 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 572 |
114 | PECVD Uniformity [1] | 571 |
113 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 561 |
112 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 559 |
111 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 554 |
110 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 553 |
109 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 550 |
108 | self bias [1] | 549 |
107 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 534 |
106 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 527 |
105 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 522 |
104 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 520 |
103 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 518 |
102 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 514 |