Others RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동

2009.08.05 12:52

조정안 조회 수:24782 추천:241

수고가 많으십니다.
저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.
업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.
Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데  RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.
그럼 수고하십시요.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77068
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20384
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57294
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68840
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92842
201 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 903
200 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 902
199 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 886
198 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 879
197 문의 드립니다. [1] 876
196 Self bias 내용 질문입니다. [1] 864
195 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 858
194 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 858
193 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 858
192 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 858
191 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 856
190 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 850
189 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
188 RF 파워서플라이 매칭 문제 839
187 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 838
186 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 829
185 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 824
184 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 822
183 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 818
182 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 817
쓰기
태그

Boards

XE Login