Others [질문] Plasma density 측정 방법

2011.09.04 20:32

coating revolution 조회 수:22714

안녕하세요.

 

큐에스아이라는 회사의 coating field를 담당하는 우병화 사원이라고 합니다.

 

한가지더 의문점이 있어서 문의 드립니다.

 

현재 장비로는 ECR sputter, RF sputter 를 보유 하고 있습니다.

 

현재 저의 장비의 plasma density를 알고 싶은데 계측장비를 구입하기는 너무 액수가 큽니다.

 

간단히 자사에서 쉽게 계측할 수 있는 방법이 있는지에 대해서 여쭤보고 싶습니다.

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77188
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20456
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92937
105 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 508
104 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 506
103 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 500
102 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 500
101 plasma striation 관련 문의 [1] file 498
100 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 498
99 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 489
98 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 476
97 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 474
96 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 471
95 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 471
94 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 470
93 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 469
92 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 463
91 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 460
90 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 459
89 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 455
88 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 454
87 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 453
86 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 449
쓰기
태그

Boards

XE Login