Matcher RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
2016.09.23 01:10
안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고있는 직장인입니다.
etch 장비에서 초기 reflect power 안정화를 위해 shunt / series 값을 tuning 하여 어느정도 개선은 하였는데
전환되는 step 에서는 reflect power 를 빠르게 안정시킬 수 있는 방법이 궁굼합니다.
댓글 4
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