안녕하세요

은퇴후 자작으로 해봅니다.

이쪽은 생소한 분야라서 공부하면서 실험합니다. (본래 저는 전자공학을 전공했습니다.)

백금족 전극으로 수도물에

1)  DC 12V를 인가하여 5분간 전기분해 개념으로 작동했더니, >> ORP = -200~-300mV, Ph=7.5~7.7, 수소 300~400PPB 정도가 생성,

2) 같은 조건으로 30초 간격으로 전극의 극성을 바꾸었더니 측정 결과는 조금 높게 나옵니다.

3) 그리고 이번에는 DC 12, 10KHz 구형파를 작동식켜보니 좀더 나은 데이터가 나오고

4)  24KHz를 걸어보니 좀더 나은 데이터가 나오는데

질문은요...

(1) 위 실험 중에서 전기분해와 플라즈마 발생을 나눌 수 있나요.

    예를들면 1), 2)는 전기분해, 3),4)는 플라즈마...

(2) 위 1과 2가 다른 데이터가 나오는 이유가 무엇일까요.

(3) 3,4 에서 주파수를 계속높이면 더 좋은 결과를 얻을 수 있을까요.

(4) 그렇다면 주파수는 얼마까지 높일 수 있나요.

설명 주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77194
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20457
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57357
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92941
425 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 3010
424 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2940
423 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2912
422 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2902
421 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2893
420 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2855
419 임피던스 매칭회로 [1] file 2845
418 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2824
417 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2744
416 PR wafer seasoning [1] 2712
415 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2707
414 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2696
413 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2686
412 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2600
411 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2595
410 질문있습니다. [1] 2593
409 Si Wafer Broken [2] 2568
408 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2556
407 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2530
406 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2507

Boards


XE Login