Plasma Source 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
2020.03.18 15:44
안녕하세요, 이번에 대학원에 진학하게 된 학생입니다.
제 전공은 생물공학인지라 플라즈마에 관한 내용을 잘 알지 못하는데, 이번에 샘플의 표면 산화처리를 위해 플라즈마 기계의 이용을 권유받았습니다.
다만 문제가 있는 부분이 제 샘플이 약 10-100um의 플라스틱 분말이라는 점입니다.
진공을 걸고 푸는 과정에서 샘플이 날려 기계에 문제가 될 수 있다는 답변을 받아 여러 방법을 고민중입니다.
제가 고민하는 실험방법은 크게 두 종류입니다.
1. 밀폐가 가능한 유리용기 내에 미리 산소를 주입하여 포화도를 올린 후 밀봉한 상태로 플라즈마 처리
2. 공기는 이동이 가능하나 분말은 이동이 불가능한 사이즈의 필터를 이용해 샘플을 가둬둔 후 플라즈마 처리
이러한 실험이 가능하려면 종이 혹은 유리를 뚫고서 내부에 있는 분말까지 플라즈마 처리가 이루어져야 하는데,
이 부분을 확신할 수 없어 문헌조사만 하고 있습니다.
제가 찾아보고 이해하는데 시간적 한계가 와서 이 곳에 질문을 남깁니다.
답변이 가능하신 부분이라면 좋겠지만, 혹여 그렇지 못하다면 이와 관련된 논문이나 자료가 있을지도 여쭤보고 싶습니다.
제가 사용할 기기는 femco science 사의 cute라는 기계입니다.
답변 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77322 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20509 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57417 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68966 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92992 |
530 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9564 |
529 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9540 |
528 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9287 |
527 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9275 |
526 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9075 |
525 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 9038 |
524 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8949 |
523 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8871 |
522 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8816 |
521 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8789 |
520 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8705 |
519 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8654 |
518 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8649 |
517 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8592 |
516 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8586 |
515 | 핵융합에 대하여 | 8565 |
514 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8166 |
513 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8135 |
512 | 고온 플라즈마 관련 | 8091 |
511 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8086 |