OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.
2021.07.16 18:01
현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다.
OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.
혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77123 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20417 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57328 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68866 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92887 |
| 661 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 643 |
| 660 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 646 |
| 659 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 662 |
| 658 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 664 |
| 657 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 667 |
| 656 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 673 |
| 655 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 681 |
| 654 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 682 |
| 653 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 693 |
| 652 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 693 |
| 651 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 696 |
| 650 | Polymer Temp Etch [1] | 698 |
| 649 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 708 |
| 648 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 710 |
| 647 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 713 |
| » | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 720 |
| 645 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 724 |
| 644 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 733 |
| 643 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 736 |
| 642 | ICP 후 변색 질문 | 739 |